
- BUSINESS
- FIELD &
PRODUCTS
事業内容・製品紹介
熊本の地に設立されて30年以上、お客さまにとって価値のある製品を
どこよりも早く開発し、市場に投入することで築いた厚い信頼
東京エレクトロン九州は、開発、設計、製造、据付までトータルでおこなう半導体製造装置メーカーです。
世界トップクラスのシェアと競争力を誇る装置を開発し、次世代技術のさらなる強化にも取り組んでいます。
九州の企業の中でも高い収益性を持ちながら、熊本から世界に標準を合わせ、
研究開発とものづくりへの挑戦を続けています。
- BUSINESS
DESCRIPTION - 事業内容

01
研究開発
要素開発を含む研究開発を推進し、九州から世界に向けて、まだ世の中に存在しない革新的な技術を持つ装置を生み出しています。

02
サービス・サポート体制
製造拠点として世界を驚かせる高品質かつコスト競争力を追求したものづくりで、顧客満足を実現させ続けています。

03
製造技術
カスタマートレーニングセンターを備え、納入からアフターメンテナンスまでトータルな技術サービスとサポートを提供し、装置の高稼働率化に寄与しています。
- PRODUCT LINEUP
- 製品ラインアップ

コータ/デベロッパ
東京エレクトロン九州が開発・製造する「コータ/デベロッパ」と呼ばれるレジスト塗布現像装置は、世界で圧倒的なシェアを誇っています。コータ/デベロッパは、シリコンウェーハの上にIC回路を焼き付ける前後の工程で用いられる装置で、その研究開発から設計・製造・据付までをおこなっています。まず、ウェーハ上に感光剤(レジスト)を塗布し、均一な厚みの膜を形成。その後、レジストを塗布したウェーハを露光装置(ステッパー)で回路パターンを焼き付け、再びコータ/デベロッパに戻し現像。そして、ウェーハをエッチング装置に送り、現像されたパターンにしたがって膜を削り取って、IC回路が形成されます。


LITHIUS™ Series

ACT™ Series

サーフェスプレパレーションシステム
サーフェスプレパレーションシステムは、ウェーハ表面の異物を除去し、各プロセス工程間の処理をおこなう装置です。さらに、均一で高精度なエッチングや、パターン倒壊を防ぐ乾燥技術を備えた枚葉・バッチ装置のラインナアップで、多様なプロセスアプリケーションに対応しています。半導体の微細化・高機能化が進む中で、このような洗浄装置の重要性はますます高まり、工程数の拡大も見込まれています。こうした市場のニーズに応えるため、高生産性とプロセス性能を追求するとともに、環境に配慮した開発・製造にも一層注力していきます。


CELLESTA™ Series

EXPEDIUS™ Series

NS Series

3DI
私たちは、今後さらなる成長が期待される3次元高密度実装デバイス向けの半導体製造装置の設計・製造・据付を手がけています。これには、チップを 3 次元に積層することでより高性能な半導体をつくる3DI技術が必要です。この高度な技術に、世界でも高いシェア率を誇る私たちの塗布現像装置や洗浄装置などの先端技術を融合することで、ウェーハボンディング装置やレーザエッジトリミング装置をラインアップ。最先端の半導体製造を支えています。特にレーザエッジトリミング装置は、従来技術と比べて環境負荷を低減した加工技術を採用し、持続可能な半導体製造の実現に貢献しています。



Synapse™ Series

Ulucus™ Series